Спектроэллипсометрическим методом исследованы оптические свойства тонких пленок молибдена в видимой и ультрафиолетовой области спектра. Пленки наносились на стеклянные подложки магнетронным распылением в атмосфере аргона при давлении 0,66 Па. Измерения проводились при различных углах падения света на образец. Использовалась трехслойная модель пленки. По рекуррентным формулам Эйри численным методом были определены толщины и оптические постоянные (показатель преломления и показатель поглощения) для всех трех слоев. Измерялась электропроводимость пленок, а структура поверхности была исследована на атомно-силовом микроскопе с использованием программного обеспечения NT-MDT Solver. Полученные результаты показывают, что верхний слой пленки является оксидом MoO3. Из того же оксида состоит и нижний слой между металлической пленкой и стеклянной подложкой. Оптические константы металлической пленки молибдена (средний слой) практически совпадают с оптическими константами массивного металла.

• Ломакіна Ольга Володимирівна (фізико-математичні науки)
• Ломакіна Ольга Василівна (медичні науки)
• Мельниченко Людмила Юріївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"