Безпалий Є. В. Стимульоване оксидування поверхні Si(001) в присутності субмоношарового покриття хрому / Є. В. Безпалий, І. П. Коваль, Ю. А. Лень, М. Г. Находкін // Вісн. Київ. нац. ун-ту. Сер. Фіз.-мат. науки. - 2009. - № 2. - С. 165-168. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Проведено дослідження взаємодії молекулярного кисню з поверхнею кремнію, вкритою субмоношаровим покриттям Cr, в діапазоні експозицій O2 від 1 до 500 Л за кімнатної температури до та після відпалу при 450 <$E symbol Р>С. Одержано залежності коефіцієнта прилипання молекулярного кисню від експозиції для субмоношарового покриття на кремнії та системи Cr/Si(001), відпаленої при 450 <$E symbol Р>С. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.225-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж28079/фіз.-мат. Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|