Досліджено структурні, електричні та оптичні властивості плівок оксиду кадмію, одержаних за допомогою магнетронного розпилювання в суміші аргону та кисню, за різних технологічних умов нанесення. Показано можливість контрольовано керувати цими властивостями шляхом зміни умов осадження та проведення ізотермічного відпалу. Встановлено, що даний метод дозволяє одержувати високопровідні прозорі плівки CdO з питомим опором <$E rho~=~3~cdot~10 sup -4> Ом <$E cdot> см та оптичною прозорістю <$E T~symbol Ы~80~-~90> %.

• Хомяк Володимир Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"