Сизов Ф. Ф. Формування багатоелементних ІЧ-фоточутливих матриць фотоприймачів формату <$E bold {128~times~128}> елементів на основі CdHgTe / Ф. Ф. Сизов, З. Ф. Цибрій, М. В. Вуйчик, Є. О. Білевич, М. В. Апатська, М. І. Смолій, І. О. Лисюк, К. В. Андрєєва, М. М. Михайлов // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2009. - № 4. - С. 38-43. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.Приведено результати робіт зі створення багатоелементних фотоприймальних пристроїв інфрачервоного діапазону на основі CdHgTe. Запропоновано ряд оригінальних технологічних рішень, з урахуванням механічних та електрофізичних особливостей тонкоплівкового CdHgTe, зокрема: пасивація поверхні епітаксійних плівок CdHgTe, модифікація режимів фотолітографічних процесів, багатошарова металізація та прецизійна гібридизація. За допомогою розробленої технології сформовано матриці фотоприймачів формату <$E 128~times~128> елементів. Індекс рубрикатора НБУВ: З854.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|