Вивчено вплив адсорбційно-десорбційних процесів водяної пари на електричну провідність і високочастотну ємність сенсорних структур на основі поруватого кремнію в температурному діапазоні 15 - 40 за Цельсієм. Зареєстровано суттєву зміну електричної провідності та ємності залежно від концентрації водяної пари. Для оцінки сенсорних властивостей розраховано адсорбційну чутливість структур на основі поруватого кремнію та багатошарових структур з плівкою каталітичного матеріалу. Досліджено кінетику відклику структур на зміну концентрації водяної пари. Одержані результати дозволяють оптимізувати процеси формування сенсорів вологості на основі поруватого кремнію.

• Оленич Ігор Богданович (фізико-математичні науки)
• Монастирський Любомир Степанович (фізико-математичні науки)
• Аксіментьєва Олена Ігорівна (хімічні науки)
• Соколовський Богдан Степанович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"