Маланич Г. П. Оптимізація складу бромвиділяючих щавників для хіміко-динамічного полірування монокристалів PbTe та твердих розчинів Pb1-xSnxTe / Г. П. Маланич, З. Ф. Томашик, В. М. Томашик, І. Б. Стратійчук // Металлофизика и новейшие технологии. - 2011. - 33, спец. вып. - С. 255-263. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Изучен характер химического травления монокристаллов PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe в зависимости от исходной концентрации HBr, которая использована для приготовления травильных композиций H2O2 - HBr. Исследованы зависимости скоростей травления поверхности полупроводников от состава травильных растворов, температуры и перемешивания, а также влияние исходной концентрации HBr на концентрационный интервал полирующих травителей и качество получаемой поверхности. Показано, что процесс растворения монокристаллов в исследуемых травителях лимитируется диффузионными стадиями. Оптимизированы составы травителей и режимы химико-динамического полирования PbTe и твердых растворов Pb1-xSnxTe. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.22 + К637.400.86-3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|