С использованием гибридной ионно-плазменной системы на поверхности подложек из различных материалов сформированы изоляционные слои из оксида магния и нитрида алюминия. Исследованы толщина и напряжение пробоя полученных покрытий в зависимости от режима нанесения. Установлено, что покрытия, полученные по второму режиму, более равномерны по толщине и обладают лучшими изоляционными характеристиками. Самые высокие значения напряжения пробоя (750 В) в отношении толщины обнаружены для изоляционного слоя из нитрида алюминия, сформированного по второму режиму на поверхности алюмомагниевого сплава.

• Дурягіна Зоя Антонівна (технічні науки)
• Беспалов Сергій Анатолійович (технічні науки)
• Підкова Василь Ярославович (технічні науки)
• Підкова Віра Ярославівна (медичні науки)
• Полоцький Денис Юрійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"