Павлович И. И. Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И. И. Павлович, В. Н. Томашик, З. Ф. Томашик, И. Б. Стратийчук, А. И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2011. - Вып. 46. - С. 68-73. - Библиогр.: 7 назв. - рус.Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Bi2Te3 и твердых растворов n-(Bi2Te3)0,9(Sb2Te3)0,05(Sb2Se3)0,05 и p-(Bi2Te3)0,25(Sb2Te3)0,72(Sb2Se3)0,03 бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирующего травителя органическими компонентами, а также состояние поверхности после полирования. Оптимизированы составы полирующих смесей и режимы проведения операций для формирования высококачественной полированной поверхности. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.223 + Ж68
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|