Беляев А. Е. Физические методы диагностики в микро- и наноэлектронике : [колект. моногр.] / А. Е. Беляев, Н. С. Болтовец, Е. Ф. Венгер, Е. Г. Волков, В. П. Кладько; ред.: А. Е. Беляев; НАН Украины, Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева. - Х. : ИСМА, 2011. - 382 c. - рус.Исследованы физические методы диагностики в микро- и наноэлектронике: методы рентгеновской дифракционной диагностики полупроводниковых материалов и структур, используемых в производстве СБИС и ряда дискретных полупроводниковых приборов, а также полупроводниковых структур с квантовыми точками, квантовыми ямами, сверхрешетками и др. Рассмотрены методы математического моделирования механизмов токопереноса в контактах металл-полупроводник с высокой плотностью дислокаций в приконтактной области полупроводника. Рассмотрено физико-статистическое моделирование отказов в задачах диагностики полупроводниковых приборов. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.13,021 + З852-082.05 с3
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА759637 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|