Кулинич О. А. Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела "<$Ebold roman SiO sub 2> - Si" / О. А. Кулинич, И. Р. Яцунский, Т. Ю. Ештокина, Г. И. Брусенская, И. А. Марчук // Технология и конструирование в электрон. аппаратуре. - 2012. - № 2. - С. 47-50. - Библиогр.: 11 назв. - рус.Показана возможность использования метода фотолюминесценции для изучения механизмов пластической деформации на границе "оксид кремния - кремний" в процессе получения слоев наноструктурированного кремния деформационным методом. Показано можливість використання методу фотолюмінесценції для вивчення механізмів пластичної деформації на границі "оксид кремнію - кремній" в процесі одержання шарів наноструктурованого кремнію деформаційних методом. The possibility of using the photoluminescence method for studying the mechanisms of plastic deformation at the boundary of "<$Eroman SiO sub 2> - Si" in the process of obtaining nanostructured silicon layers by deformation. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3 + В379.24
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|