Євтушенко А. І. Ступінь самокомпенсації ZnO, співлегованого азотом та алюмінієм / А. І. Євтушенко, Г. В. Лашкарьов, Л. А. Косяченко, В. М. Склярчук, О. Ф. Склярчук, В. Й. Лазоренко, В. М. Ткач // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2012. - 3, № 3. - С. 79-86. - Бібліогр.: 16 назв. - укp.Наведено результати експериментального дослідження електропровідності співлегованих азотом (до 4,3 атомних %) та алюмінієм (2,4 атомних %) n-типу плівок ZnO:N:Al, осаджених за допомогою методу високочастотного магнетронного розпилення на підкладках p-Si. З аналізу температурних залежностей питомого опору й енергії рівня Фермі знайдено енергію іонізації і ступінь компенсації домішок (дефектів), відповідальних за електропровідність досліджених зразків. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|