Рассмотрены функциональные возможности сканирующей электропроводящей микроскопии для исследования элементов микро- и наноэлектроники. Предложена конструкция комбинированной теплопередающей системы испарительно-конденсационного типа, состоящая из традиционной тепловой трубы и присоединенной к ее зоне конденсации пластины, соединенной с пульсационной тепловой трубой. Разработана коаксиальная тепловая труба для охлаждения отражателя твердотельного лазера. Решена нелинейная граничная стационарная задача теплопроводности для изотропной термочувствительной бесконечной пластины с теплоизолирующими лицевыми поверхностями, в которой находится тепловыделяющее инородное сквозное включение, предложено преобразование и кусочно-линейная аппроксимация температуры на граничной поверхности включения. Показана целесообразность применения комбинированных накопителей энергии на основе ионисторов в установках контактной миеросварки. Рассмотрены результаты исследований оригинальных конструкций датчиков измерения вибрации в режиме экспрес-диагностики с целью совершенствования процесса измерения и снижения погрешности измерений. Показаны возможности тепловизионного обследования промышленных объектов при их метрологической сертификации. Изучено влияние радиационного облучения на свойства эпитаксиальных слоев арсенида галлия. Предложен герметико-множественный подход к исследованию полупроводниковых сенсорных материалов. Внимание уделено оптимизации технологии формирования комплементарных транзисторов для ИМС с диэлектрической изоляцией элементов, разработке двухфункционального датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния. Рассмотрена вакуумная установка нанесения металлических пленок на ленточный материал.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"