Надано результати досліджень приповерхневих шарів плівок залізо-ітрієвого гранату (ЗІГ), імплантованих іонами кремнію з енергією 90 кеВ і дозами <$E 1~cdot~10 sup 13>, <$E 6~cdot~10 sup 13> і <$E 2~cdot~10 sup 14> см<^>-2. Проведене математичне моделювання процесу імплантації іонів кремнію у плівку ЗІГ показало, що утворення пар Френкеля та дефектів більш складного типу є рівноймовірним. Теоретично розраховано профіль концентрації радіаційних дефектів, який, в основному, формується дефектами, утвореними внаслідок пружних взаємодій іона-імплантанта з атомами мішені. Експериментально встановлено, що імплантація іонів кремнію у плівки ЗІГ призводить до утворення в приповерхневому шарі монотонно спадних профілів відносної деформації.

• Пилипів Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)
• Гарпуль Оксана Зіновіївна (фізико-математичні науки)
• Остафійчук Богдан Костянтинович (1948–2024) (фізико-математичні науки)
• Коцюбинський Володимир Олегович (фізико-математичні науки)
• Куровець Валентина Василівна (фізико-математичні науки)
• Бончик Олександр Юрійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"