Soroka V. I. Nuclear microanalysis study of surface nanolayers in gold - silicon structures / V. I. Soroka, S. O. Lebed, M. G. Tolmachev, O. G. Kukharenko, O. O. Veselov // Укр. фіз. журн.. - 2013. - 58, № 4. - С. 311-317. - Бібліогр.: 7 назв. - англ.За допомогою ядерних аналітичних методів резерфордівського зворотного розсіяння та індукованого частинками характеристичного рентгенівського випромінювання досліджено поверхневі наношари структури золото - кремній. Від параметрів цих шарів кардинально залежать електротехнічні властивості побудованих на їх основі електронних приладів. Вимірювання виконано на прецизійній мікроаналітичній установці "Скануючий ядерний зонд" щойно введеній в експлуатацію в лабораторії "Спектр". Експеримент показав, що товщина шару золота, напиленого на поверхню зразків, дорівнює ~ 17 нм (для одного зразка) і ~ 20 нм (для другого зразка). Неоднорідність товщини цих шарів по поверхні не перевищує 1,6 нм і не виходить за межі похибки експерименту. Під золотом, у проміжному шарі золото - кремній, виявлено значну кількість домішки. Ймовірно, що це залишок фтору після технологічної операції травлення поверхні кремнію в суміші кислот, куди входить і плавикова кислота. Показано, що кількість виявленого фтору для серії вимірів сильно корелює з величиною струму альфа-частинок на мішені під час набору спектра. Очевидно, що локальний нагрів мішені залежить від величини струму. Звідси випливає різна швидкість локальної дифузії атомів фтору з поверхні мішені. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж364.204 + В371.236 в738
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|