Розглянуто технологічні аспекти отримання плівок нітридів і боридів тугоплавких металів для бар'єрних і омічних контактів, а також контактів з антидифузійними шарами для арсенідгалієвих і кремнієвих епітаксійних структур, які використовуються для створення НВЧ діодів. Досліджено властивості напилених плівок і меж поділу метал - напівпровідник, а також електрофізичні параметри контактних структур і лавинно-пролітних діодів. Показано високу термічну стійкість контактних структур на базі боридів і нітридів титану та боридів цирконію.

• Іванов Вадим Миколайович (1892–1962) (медичні науки)
• Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"