Datsenko L. I. Complex diffractometrical investigation of structural and compositional irregularities in GaAs:Si/GaAs films heavily doped with silicon / L. I. Datsenko, V. P. Klad`ko, P. M. Lytvyn, J. Domagala, V. F. Machulin, I. V. Prokopenko, V. B. Molodkin, Z. V. Maksimenko // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2001. - 4, № 3. - С. 146-151. - Бібліогр.: 20 назв. - англ.Комплекс рентгенодифрактометричних досліджень кутових і спектральних залежностей коефіцієнта відбивання для квазізаборонених рефлексів дозволяє визначити параметри структурних мікродефектів (радіус r і концентрацію n), а також параметр нестехіометрії DELTA = CA - CB, де CA, CB є концентрацією компонентів гратки A і B. За допомогою трикристалічного спектрометра (ТКС) побудовано двовимірні порти розподілу дифузійного розсіювання (ДР) для характеристичного випромінювання в оберненому просторі для сильнолегованих (до 1020 см-3) плівок GaAs : Si/GaAs. Спектральні (енергетичні) залежності коефіцієнта відбивання виміряно однокристалічним (ОКС) спектрометром. У обох випадках використано формули теорії Молодкіна, розробленої для реального кристала з однорідно розподіленими мікродефектами, у процесі підгонки розрахункових значень до експериментальних у випадках TКС і ОКС для (200) і (400) рефлексів. Карти розподілу ДР отримано для Cu Kalpha-випромінювання за допомогою трикристалічного дифрактометра фірми Phillips. Добре узгодження між двома групами r- і n- параметрів мікродефектів (преципітатів) було показано для деякої плівки GaAs (r1 = 3,5 мкм, n1 = 4,3 . 106 см-3, r2 = 4,8 мкм, n2 = 9,4 . 106 см-3). Визначено параметр DELTA = 0,009 (надлишок Ga). Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.24 + К230.26
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|