Tkach V. N. Divergent-beam X-ray studies of the structure of a disturbed layer of silicon plates / V. N. Tkach, V. N. Bakul // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2002. - 5, № 1. - С. 36-38. - Бібліогр.: 6 назв. - англ.На базі сканувального електронного мікроскопа BS-340 створено камеру Косселя для дослідження поверхонь монокристалів у відбитих пучках рентгенівських променів. Досліджено структуру поверхневого шару кремнієвих пластин після хіміко-механічної поліровки. Інтенсивність рефлексів від площини гратки, що перетинають поліровану поверхню пластини, характеризує ступінь досконалості поверхневого шару, має періодичну природу та виявляє тенденцію до загасання вглиб пластини. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.24
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ
 Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|