Досліджено вплив НВЧ впливу на спектри поглинання (в області 400 - 800 нм) та радіус кривизни структур SiO2/SiC, одержаних за допомогою методів звичайного термічного окиснювання в парах води за температури 1 373 К і швидкого термічного відпалу (ШТВ) за температури 1 273 К. На підставі аналізу залежностей зміни оптичної густини та радіуса кривизни зразків від сумарного часу НВЧ впливу зроблено висновок про те, що структури, які одержано за допомогою методу ШТВ, є найбільш стійкими до НВЧ впливу.

• Бачеріков Юрій Юрійович (фізико-математичні науки)
• Конакова Раїса Василівна (1941–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"