Evtukh A. A. Electron field emission from <$E bold {{roman SiO} sub x}> films / A. A. Evtukh, I. Z. Indutnyy, I. P. Lisovskyy, Yu. M. Litvin, V. G. Litovchenko, P. M. Lytvyn, D. O. Mazunov, Yu. V. Rassamakin, P. E. Shepeliavyi // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2003. - 6, № 1. - С. 32-36. - Бібліогр.: 16 назв. - англ.Спостережено ефективну електронно-польову емісію з кремнієвих плоских катодів, покритих плівкою <$E {roman SiO} sub x ~(x~symbol Ы~0,3~-~0,5)> як до, так і після термічного відпалу (1 000 <$E symbol Р >C) та наступного травлення у розчині HF. Плівки оксиду одержано термічним вакуумним (<$E 10 sup -5> мм. рт. ст.) випаровуванням кремнію. З використанням оптичної спектроскопії у видимому та інфрачервоному діапазонах, а також атомно-силової мікроскопії досліджено структурні особливості цих плівок. Показано, що вихідна плівка <$E {roman SiO} sub x> може бути представлена у вигляді композиту <$E {roman SiO} sub x ~(roman Si)>, де <$E x~symbol Ы~1,3>. Термічний відпал викликає подальший фазовий розпад у матеріалі плівки, і вона трансформується у композит SiO2 (Si). Під час цього процесу розмір кремнієвих зерен зменшується, а їх густина зростає. Запропоновано модель електронно-польової емісії з поверхні таких плівок. Припущено, що обмежувальний механізм струмопереносу за умов високих електричних полів пов'язаний з тунелюванням Фаулера - Нордгейма крізь бар'єри <$E roman Si~-~roman SiO} sub x> - вакуум або Si - вакуум. Піки струму на емісійних вольт-амперних характеристиках пояснено у межах резонансно-тунельного механізму. Досліджені структури виглядають перспективними для застосування як плоскі польові катоди у приладах вакуумної електроніки та у плоско-панельних польових емісійних дисплеях. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.3 + В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|