Ivanov V. N. Heat-resistant ohmic and barrier contacts for GaAs-based microwave devices / V. N. Ivanov, R. V. Konakova, V. V. Milenin, M. A. Stovpovoi // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2003. - 6, № 3. - С. 311-315. - Бібліогр.: 7 назв. - англ.Досліджено бар'єрні й омічні контакти, які застосовують під час створення НВЧ приладів на основі арсеніду галію. Показано, що бар'єрні контакти Au - Mo - TiBx - n-GaAs мають вищу термостійкість, ніж Au - Ti - n-GaAs. Це зумовлено істотним уповільненням зернограничної дифузії в контактах Au - Mo - TiBx внаслідок застосування як бар'єрного матеріалу аморфних шарів TiBx, фазовий перехід у яких відбувається за температури вище 1 000 <$E symbol Р>C. Установлено, що застосування TiBx як антидифузійного шару в омічних контактах Au - TiBx - AuGe - n-GaAs до діодів Ганна збільшує їх довговічність у порівнянні з традиційним омічним контактом Au - AuGe - n-GaAs. Індекс рубрикатора НБУВ: З852.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|