Відзначено, що для опису геометрії кластерів, що формуються на поверхні кремнію під час росту першого моношару, використано фрактальний аналіз і моделювання за допомогою методу Монте-Карло. Вважалось, що для епітаксії використовується метод імпульсного лазерного осадження. В експериментах шари одержано шляхом осадження на підкладки, температура яких змінювалась в інтервалі від 600 до 800 K. Топографію сформованих плоских кластерів характеризували їх фрактальним ящикоподібним розміром. Обговорено зв'язок між розміром і формою кластерів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"