Kostyukevych S. A. Recording the highly efficient diffraction gratings by a He-Cd laser / S. A. Kostyukevych, A. N. Morozovska, V. I. Minko, P. E. Shepeliavii, K. V. Kostyukevych, A. A. Kudryavtsev, S. V. Dyrda, V. M. Rubish, V. V. Rubish // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2004. - 7, № 4. - С. 446-451. - Бібліогр.: 14 назв. - англ.За допомогою He-Cd лазера з довжиною хвилі <$E lambda ~=~0,44> мкм на резистних шарах As40S60-хSeх (х = 0, 10, 20) були записані високоефективні голографічні дифракційні гратки із просторовими частотами від 600 до 3 600 <$E roman мм sup -1>. Дослідження рельєфу граток, проведене за допомогою атомного силового мікроскопа, показало, що резисти складу As40S60-хSeх дозволяють записувати оригінали граток із різною висотою профілю залежно від хімічного складу, часу травлення резисту та експозиції. Одержано типові для граток з високою глибиною модуляції (<$E 20~%~symbol Г~m~symbol Г~40~%>) та близьким до гармонічного профілем штриха залежності дифракційної ефективності від довжини хвилі та кута падіння світла для першого порядку дифракції. Провівши порівняння одержаних граток з різними періодами, за різних часів травлення та експозицій визначено оптимальні параметри (часи травлення та інтервал експозицій) для одержання граток з високою дифракційною ефективністю. Індекс рубрикатора НБУВ: З845.79 + З861-531.46
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|