Analyzed in this work are the requirements to an optical system for laser thermolithographic recording. It has been shown that possibilities of this type recording with decreasing the registered element sizes can be realized only when using special measures for stabilizing both exposing radiation power and duration of laser pulses. Using the thermolithographic method for making super-dense patterns also requires creation of a specific system for dynamic focusing with accuracy better than 100 nm. It has been shown that the specific heat of thermochemical reaction and thermal resistance of a substrate are critical parameters for this method.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Крючин Андрій Андрійович (1948–) (технічні науки)
• Лапчук Анатолій Степанович (1955–) (технічні науки)
• Костюкевич Сергій Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"