Sachenko A. V. Resistance formation mechanisms for contacts and to n-AlN and n-GaN with a high dislocation density / A. V. Sachenko, A. E. Belyaev, N. S. Boltovets, Yu. V. Zhilyaev, L. M. Kapitanchuk, V. P. Klad'ko, R. V. Konakova, Ya. Ya. Kudryk, A. V. Kuchuk, A. V. Naumov, V. V. Panteleev, V. N. Sheremet // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2012. - 15, № 4. - С. 351-357. - Бібліогр.: 19 назв. - англ.We studied temperature dependences of the resistivity, <$E rho sub c (T)>, of Pd-Ti-Pd-Au ohmic contacts to wide-gap semiconductors n-GaN and n-AlN with a high dislocation density. Both <$E rho sub c (T)> curves have portions of exponential decrease, as well as those with very slight <$E rho sub c (T)> dependence at higher temperatures. Besides, the Au-Pd-Ti-Pd-n-GaN contacts have a portion of <$E rho sub c (T)> flattening out in the low-temperature region. This portion appears only after rapid thermal annealing (RTA). In principle, its appearance may be caused by preliminary heavy doping of the near-contact region with a shallow donor impurity as well as doping in the course of contact formation owing to RTA, if the contact-forming layer involves a material atoms of which serve as shallow donors in III - N compounds. The obtained <$E rho sub c (T)> dependences cannot be explained by the existing mechanisms of current transfer. We propose other mechanisms explaining the experimental <$E rho sub c (T)> curves for ohmic contacts to n-GaN and n-AlN. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.271.51
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|