Олешкевич А. І. Моделювання процесу дифузійного оксидоутворення на поверхні нанорозмірних металевих плівок / А. І. Олешкевич, С. І. Сидоренко, А. М. Гусак, С. М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - 35, № 5. - С. 611-622. - Бібліогр.: 13 назв. - укp.С помощью методов Оже-электронной спектроскопии, рентгеновского локального микроанализа, резерфордовского обратного рассеяния, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии исследованы начальные стадии низкотемпературной диффузии в наноразмерных тонкопленочных системах Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2 и Sn(60 нм)/Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO2. Показано, что марганец диффундирует по границам зерен "верхних" слоев, и реакция его окисления на внешней поверхности создает дополнительную движущую силу массопереноса. Концентрация Mn на поверхности трехслойной системы после отжига в вакууме 10<^>-6 Па при температуре <$E200~symbol Р roman C> в течение 20 минут больше, чем при аналогичных условиях отжига двухслойной системы, что связано с развитием фазовых превращений. Предложена теоретическая модель, которая позволяет прогнозировать кинетику роста оксида Mn3O4 на поверхности системы Cu/Mn, выполнены количественные расчеты. Показано, что наибольшая скорость роста оксида наблюдается в области стыка границы зерна с поверхностью пленочной системы. Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|