Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5 - 230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы <$E2~cdot~10 sup -3> и <$E5~cdot~10 sup -3> торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряженно-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Показаны возможности направленного изменения (рост кристаллитов с осью текстуры [111], повышение напряженно-деформированного состояния сжатия и увеличение среднего размера кристаллитов) при повышении абсолютного значения подаваемого отрицательного потенциала. Проанализированы причины наблюдаемых изменений с учетом влияния на их проявления рабочего давления азотной атмосферы в процессе осаждения.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"