Досліджено вплив ізохронного відпалу в діапазоні 350 - 1100 градусів за Цельсієм на структурні властивості та край власного поглинання тонких плівок кремнію, легованих оловом (a-SiSn). Одержано, що у структурі a-SiSn (олова ~ 4 ат. %), на відміну від нелегованого a-SiSn, одразу після осадження, присутні нанокристали кремнію (розмір кристалітів 4 нм, частка кристалічної фази ~ 65 %). Показано, що ізохронний відпал a-SiSn у діапазоні 350 - 1100 градусів за Цельсієм поступово збільшує розміри нанокристалів кремнію в аморфній матриці до ~ 7 нм, а частку кристалічної фази до 100 %. Кристалізація нелегованого оловом Цельсієм починається лише за температур відпалу більше 700 градусів за Цельсієм. Проаналізовано вплив олова на оптичну ширину забороненої зони a-SiSn, залежно від температури ізохронного відпалу.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222 + В379.226 + В379.251.4

Рубрики:

Дефекти напівпровідників

Тонкі шари напівпровідників

Кристалізація

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Юхимчук Володимир Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"