З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 мкм у разі розміру зерен 60 - 400 нм. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12 - 20 мкм. Діелектричний шар складається з фази AlN структурного типу ZnO з періодом комірки a = 3,10 <$Eroman A back 45 up 35 symbol Р>, c = 4,998 <$Eroman A back 45 up 35 symbol Р>. Зерна фази текстуровані за напрямком [001].

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Дурягіна Зоя Антонівна (технічні науки)
• Підкова Василь Ярославович (технічні науки)
• Підкова Віра Ярославівна (медичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"