РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000424781<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Бокучава Г. В. 
Состав и морфология кремний и кремний-германиевых пленок легированных бором и фосфором на монокристаллах Si и Si - Ge / Г. В. Бокучава, В. Д. Вирич, Г. Ш. Дарсавелидзе, А. Ю. Журавлёв, В. В. Левенец, Н. А. Семёнов, С. В. Стригуновский, А. А. Сущая, Б. М. Широков // Авиац.-косм. техника и технология. - 2010. - № 4. - С. 26-29. - Библиогр.: 7 назв. - рус.

С помощью методов лазерной масс-спектрометрии, микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии и ядерно-физическими исследованиями изучены морфология, состав эпитаксиальных пленок, определены профили распределения основных элементов Si, Ge и примесных Р и В. Получены профили распределения элементов на границе раздела подложка-пленка. Показано, что в зависимости от условий получения можно реализовывать поликристаллические и эпитаксиальные варианты структуры в широком диапазоне концентраций основных элементов и вводимых примесей Р и В.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.221 + В379.226

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж24839 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського