Показано, что максимальные остаточные напряжения сжатия в многослойном покрытии TiN - Ti составляют более 7,5 ГПа (энергия ионов 200 эВ), а приближаются к 7 ГПа при энергии 70 эВ, что подтверждается теоретическими результатами. В многослойной системе TiN - Ti при слое титана менее 120 нм достигаются высокие: микротвердость Н = 35 - 36 ГПа и индекс пластичности Н/Е 0,11 - 0,12. Толщины слоев Ti более 30 нм оказывается достаточной, чтобы развитие напряженно-деформированного состояния в слоях TiN проходило без их существенной релаксации. Проведён анализ влияния на структуру, упруго напряженно-деформированное состояние и механические характеристики многослойной системы Ti - TiN, толщины Ti подслоя (в интервале 30 - 250 нм) и величины потенциала смещения (Uп).

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"