Защитные покрытия системы Ti - Al - Si - N осаждали с помощью вакуумно-дугового метода при распылении катода состава 78Ti - 16Al - 6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti - Al - Si - N изучены с помощью метода рентгеноструктурного анализа, топография покрытий - методом атомно-силовой микроскопии, химический состав определяли рентгенофлюоресцентным методом, твердость и модуль упругости покрытий - методом наноиндентирования. Установлено, что в системе Ti - Al - Si - N при росте давления азота в камере осаждения происходит переход от нанокристаллических (до 0,04 Па) к нанокомпозитным (0,04 - 0,66 Па) и рентгеноаморфным (0,66 - 1,1 Па) покрытиям, а при давлении 2,7 Па количество кристаллической фазы опять резко возрастает. Оптимальные механические свойства и максимальную термостабильность имеют покрытия с нанокристаллической структурой и нанокомпозитные с низким содержанием аморфной фазы, твердость которых достигает 47 ГПа.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Білоус Віталій Арсентійович (1944–) (геологічні науки)
• Овчаренко Валерій Давидович (фізико-математичні науки)
• Решетняк Олена Миколаївна (фізико-математичні науки)
• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"