![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000436569<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Новосядлий С. П. Фізико-технологічні особливості формування металізації субмікронних арсенід-галієвих структур іонним фрезеруванням / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Л. В. Мельник, В. М. Варварук // Вост.-Европ. журн. передовых технологий. - 2013. - № 4/5. - С. 3-6. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Описано основи іонного фрезерування, методи іонно-променевої обробки в літографії, переваги та недоліки в порівнянні з іншими методами. Одержано структури ВІС на GaAs із другим рівнем металізації, виконаним за допомогою іонно-променевого травлення через маску з фоторезистом. Досліджено ефективність після імплантаційного відпалу іонним пучком в порівнянні з термічним відпалом. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж621 + Ж68
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24320 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|