Представлены результаты разработки системы управления процессом выращивания слитков арсенида галлия, теплового узла, метода и системы измерения внутренних напряжений в пластинах арсенида галлия. Представленные технические решения позволили получить слитки кремния диаметром 100 мм с подвижностью 2500 - 3500 см<^>2В<^>-1с<^>-1; концентраций носителей заряда <$E5~times~10 sup 17> - <$E5~times~10 sup 18> см<^>-3; плотностью дислокаций до <$E8~times~10 sup 4> см<^>-2.

• Оксанич Анатолій Петрович (технічні науки)
• Притчин Сергій Емільович (технічні науки)
• Тербан Віктор Андрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"