Проведено моделирование газодинамических и тепловых процессов, протекающих в СВЧ-реакторе в оптимальных для получения кремния режимах. Определено распределение температуры газа, время пребывания реагентов в высокотемпературной зоне и скорость закалки продуктов реакции. Предложен механизм образования кремния с участием Н<^>., <$E roman SiCl sub 3 sup cdot> и SiCl2.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"