The mechanisms of the formation of defects in superficial layers of epitaxial yttrium iron garnet films during the implantation by oxygen ions (E = 90 keV) are investigated by mathematical modeling methods. Secondary implantation processes and the evolution of the cascade collisions of target atoms up to a thermodynamical equilibrium state are studied.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226

Рубрики:

Тонкі шари напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж22412/а Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Остафійчук Богдан Костянтинович (1948–2024) (фізико-математичні науки)
• Ткачук Василь Микитович (сільськогосподарські науки)
• Ткачук Віталій Мирославович (біологічні науки)
• Ткачук Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)
• Ткачук Вадим Миколайович (філологічні науки)
• Ткачук Віктор Миколайович (хімічні науки)
• Ткачук Валерій Михайлович (фізико-математичні науки)
• Ткачук Олександр Миколайович (філологічні науки)
• Ткачук Олена Миколаївна (фізико-математичні науки)
• Ткачук Орися Миколаївна (фізико-математичні науки)
• Ткачук Оксана Михайлівна (сільськогосподарські науки)
• Пилипів Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)
• Григорук Олександр Олегович (фізико-математичні науки)
• Григорук Олександр Олександрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"