Вперше підтверджено математичну модель процесу перенесення матеріалу катодів-мішеней на поверхню підкладки за умов формування покриття, яка дозволяє прогнозувати товщину, склад і швидкість осадження покриття в будь-якій точці на поверхні підкладки. Розроблено метод використання розпорошувальної системи з протяжною зоною прискорення для розпорошення великої кількості катодів-мішеней за індивідуальними програмами. Запропоновано принцип функціонування інверсної магнетронної розпорошувальної системи з газовим анодом, секціонованими катодними вузлами і осьовими потоками плазми, згідно з яким кожна з її частин може функціонувати як самостійна розпорошувальна система. Встановлено залежність між ступенем секціонування катодів-мішеней і діапазоном регулювання ширини перехідної зони між ділянками з покриттями різного складу.

• Слюсар Денис Віталійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"