Рассмотрены плазменные технологии и оборудование для получения из моносилана через жидкую фазу гранул кремния в одном аппарате. Показано, что какие-либо научно-технические ограничения на практическую реализацию технологии отсутствуют. Получены экспериментальное подтверждение и адекватное математическое описание процессов плазмохимического пиролиза моносилана, кондесации паров кремния в расплав, образование гарнисажа и переход пленочного течения в капельное, что позволяет осуществлять инженерную разработку пилотной установки на производительность 100 кг/час.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Петров Сергій Вікторович (юридичні науки)
• Петров Станіслав Володимирович (технічні науки)
• Петров Станіслав Валерійович (історичні науки)
• Петров Сергій Валерійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"