Проанализированы проблеми повышения качества монокристаллов, выращиваемых методом Чохральского. Внимание уделено разработке концептуальных основ информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания. Описаны методы, модели и информационные технологии мониторинга температурных полей в процессе выращивания монокристаллов и повышения качества процесса выращивания за счет оптимизации геометрических параметров тепловых экранов ростовой установки. Показана практическая реализация информационных технологий оптимизации тепловых условий выращивания монокристаллов GaAs.

• Шевченко Ігор Васильович (технічні науки)
• Шевченко Ігор Веніамінович (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"