Птащенко О. О. Вплив поверхневого легування на характеристики p - n-переходів на основі GaAs як газових сенсорів / О. О. Птащенко, Ф. О. Птащенко, В. Р. Гільмутдінова // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2013. - 10, № 1. - С. 114-123. - Бібліогр.: 19 назв. - укp.Досліджено вплив тривалої витримки p - n-переходів на основі GaAs у вологих парах NH3 з парціальним тиском 12 кПа на їх характеристики як сенсорів парів води та аміаку. Встановлено, що вказана обробка веде до утворення повільних донорних поверхневих центрів з часом десорбції <$E tau~=~3,3~cdot~10 sup 5> с, які суттєво підвищують чутливість сенсорів. Досягнуто порога чутливості сенсорів до парів аміаку <$E P sub a sup min~=~0,1> Па (що відповідає 1 ppm), чутливості 40 нА/Па до парів NH3 та 25 нА/кПа до парів води. Верхня межа області чутливості сенсорів парів аміаку після вказаної обробки складає 200 Па і обумовлена наявністю поверхневих рівнів глибиною 0,18 - 0,20 еВ. Розширення області чутливості сенсора в результаті обробки надало змогу виявити кілька повільних глибоких поверхневих рівнів у GaAs. Індекс рубрикатора НБУВ: З32-503 + З852-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|