В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса позволило обосновать целесообразность применения порошков карбида бора и диоксида титана для тонкого шлифования и порошков оксида хрома, оксида алюминия, диоксида церия и алмазных микропорошков ACM 2/1 для супертонкого шлифования.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"