РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000517797<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Vasin A. V. 
Correlation of deposition parameters, film thickness and mechanical stresses in a-C:H films on silicon substrates / A. V. Vasin, S. I. Khandozhko, L. A. Matveeva, A. G. Gontar, A. M. Kutsay // Functional Materials. - 2000. - 7, № 1. - С. 173-175. - Бібліогр.: 4 назв. - англ.

Наведено результати дослідження механічних напруг стиску у плівках гідрогенізованого вуглецю на кремнієвих підкладках. Під час осадження на електрод, який не охолоджується, має місце залежність механічних напруг від товщини плівок. З урахуванням цього проведено коректні виміри залежності механічних напруг від потенціалу автозміщення електрода-підкладкотримача. Показано, що механічні напруги корелюють з питомою густиною плівок та їх мікротвердістю.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.26

Рубрики:
 Механічні властивості монокристалів напівпровідників 

Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського