Розглянуто проблему добору моделі системи та визначення параметрів цієї системи за експериментальними даними, одержаними відбивною еліпсометрією. Виконано багатокутові еліпсометричні дослідження діелектричних плівок HfO₂ на оптичних стеклах і природного оксиду на поверхні германію. Розрахунки для двошарової моделі показали, що під час осадження HfO₂ на оптичному склі з електронно-променевим розпиленням матеріалу покриття між плівкою та підкладкою утворюється проміжний шар, показник заломлення якого суттєво відрізняється від показника заломлення скла. У випадку оксидної плівки на германії залежністю визначуваних параметрів від кута падіння можна знехтувати шляхом правильного добору оптичних констант підкладки.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"