Sobol O. V. The use of triode sputtering scheme for preparation of refractory metal carbide coatings / O. V. Sobol, E. A. Sobol, A. A. Podtelezhnikov, S. T. Roshchenko // Functional Materials. - 2000. - 7, № 2. - С. 305-310. - Бібліогр.: 23 назв. - англ.На прикладі карбіду вольфраму проаналізовано особливості формування фазового складу та субструктурних характеристик карбідів тугоплавких матеріалів, одержаних з іонно-плазмових потоків за триелектродної схеми розпилення. Для одержання зразків використано alpha - W2C, alpha - WC та alpha - WC + C мішені. Встановлено, що в більшості покриттів присутня високотемпературна beta - WC фаза. Це призводить до утворення двофазних покриттів ( beta - WC + alpha - WC, beta - WC + alpha - W2C ) або за низьких значень Ts до однофазного beta - WC покриття. Причиною утворення beta - WC з кубічною (ГЦК) граткою є високий рівень нерівноважності процесу формування іонно-плазмових покриттів. Використання тріодної схеми розпилення дозволяє одержувати стабільні alpha - WC покриття за відносно невисокої густини потоку і підвищення Ts до 450 °C. У цьому випадку під час осадження на поверхні ефективно протікають релаксаційні процеси, стимульовані високою енергією карбідоутворювальних атомів. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.05-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|