Досліджено текстурування полікристалічних алмазних плівок (ПАП) за допомогою методу рентгенівської дифракції з використанням ковзних пучків і схеми <$E theta~-~2 theta>. Зразки ПАП вирощено з газової фази на підкладках з монокристалічного кремнію. У дослідженнях варіювалася температура підкладок і тиск метан-водневої суміші. У ПАП товщиною близько 3 мкм має місце слабке текстурування, що виражається у посиленні дифракційної лінії (111). У випадку підвищення тиску газової суміші полюсна густина текстури (111) зменшується, а текстури (220) - зростає, і за умови p = 240 Торр полюсні густини цих текстур наближаються до 1, що відповідає ідеальній полікристалічності ПАП. У ПАП товщиною 4 і 6 мкм і 9 і 11 мкм залежно від умов синтезу переважає текстура (311) або (220). За умови тиску 160 Тор і температури підкладок 1 173 K переважає текстура (220) і їй відповідає максимум швидкості росту ПАП. Вимір густини дислокацій у ПАП показали кореляційний зв'язок з полюсними густинами текстури.

Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + В375.144

Рубрики:

Тонкі шари твердих тіл

Ріст кристалів із пари. Випаровування (сублімація) твердих тіл, кристалів

Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"