Представлено результати дослідження впливу УФ- і видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/<$E roman см sup 2>) на структуру та властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю <$E alpha>-C:N у процесі їх росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їх якість.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"