За допомогою методів рентгенівського фазового аналізу та наноіндентування досліджено структуру та механічні властивості нанокомпозитних тонких плівок на основі TiAlSiN. Матеріали одержано за допомогою методу катодного осадження на підкладку WC - Co. З метою визначення механізму росту тонких плівок проведено електронно-мікроскопічні дослідження. Максимальна твердість плівок спостерігається для зразків, хімічний склад яких знаходиться поблизу області евтектики Al - Si. Цьому складу відповідає також і мінімальний розмір кристалітів (30 нм).

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"