Досліджено залежність параметрів катодолюмінесценції наноструктурованих тонких плівок оксиду цинку, одержаних за допомогою методу ВЧ-магнетронного реактивного розпилення, від температури відпалу й обробки із використанням методу ВЧ-іонного травлення. За допомогою методу рентгеноструктурного аналізу досліджено структуру плівок. Установлено, що термічний відпал і ВЧ-іонне травлення забезпечують підсилення інтенсивності катодолюмінесценції, насамперед за рахунок зростання середніх розмірів нанокристалітів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"