За допомогою методу нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення за різних умов осадження одержано плівки дибориду танталу. За допомогою рентгенівської дифрактометрії, вторинної іонної мас-спектрометрії й електронної мікроскопії досліджено їх фазовий склад і структуру. Вивчено вплив температури підкладки та величини позитивного потенціалу зсуву на зміну ступеня текстурованості та склад одержаних покриттів. З'ясовано деякі загальні закономірності росту плівок: утворення квазіаморфної структури й її перехід у текстурований конденсат різного ступеня досконалості.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"