Kaltaev Kh. Sh.-ogly Mechanism of AlN film formation at thermochemical nitridization of sapphire / Kh. Sh.-ogly Kaltaev // Functional Materials. - 2011. - 18, № 1. - С. 41-49. - Бібліогр.: 27 назв. - англ.Досліджено механізм формування плівок AlN на сапфірових підкладинках з орієнтаційними співвідношеннями (0001)AlN//(0001)<$E roman {Al sub 2 O sub 3}>, (0001)AlN//<$E (11 2 Bar 0) roman {Al sub 2 O sub 3}>, <$E (10 1 Bar 3) roman AlN // (1010) roman {Al sub 2 O sub 3}> і <$E (11 2 Bar 0) roman AlN "//" (10 1 Bar 2) roman {Al sub 2 O sub 3}> у процесі термохімічної нітридизації сапфіру у відновних середовищах <$E roman {N sub 2~+~(CO,~H sub 2})>. Показано, що основні дефекти в одержаних плівках переважно пов'язані з присутністю у них підвищеної концентрації кисню. Розглянуто можливий механізм нітридизації, що включає відновні та дифузійні процеси. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.25 + Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|