Досліджено механізм формування плівок AlN на сапфірових підкладинках з орієнтаційними співвідношеннями (0001)AlN//(0001)<$E roman {Al sub 2 O sub 3}>, (0001)AlN//<$E (11 2 Bar 0) roman {Al sub 2 O sub 3}>, <$E (10 1 Bar 3) roman AlN // (1010) roman {Al sub 2 O sub 3}> і <$E (11 2 Bar 0) roman AlN "//" (10 1 Bar 2) roman {Al sub 2 O sub 3}> у процесі термохімічної нітридизації сапфіру у відновних середовищах <$E roman {N sub 2~+~(CO,~H sub 2})>. Показано, що основні дефекти в одержаних плівках переважно пов'язані з присутністю у них підвищеної концентрації кисню. Розглянуто можливий механізм нітридизації, що включає відновні та дифузійні процеси.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"