За допомогою методу високочастотного реактивного магнетронного розпилення алюмінієвої мішені у газовій суміші Ar і N2 (відповідно 1:3,5) одержано полікристалічні плівки AlN товщиною 0,45 - 0,6 мкм на підкладках із монокристалічного кремнію n-Si(111) з питомим опором <$E (2 symbol Ш )~cdot~10 sup -3> Ом <$E cdot> см. Досліджено морфологію поверхні та оптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) (спектри відбивання у діапазонах 200 - 750 нм і 1,4 - 25 мкм). Одержане значення показника заломлення плівок AlN/n-Si(111) у діапазоні довжин хвиль 505 - 675 нм дорівнює 2,13. Різницю у розміщенні мінімуму смуги відбивання плівок і кристала в ІЧ області спектра пояснено наявністю механічних напружень розтягу та впливом сильнолегованої підкладки n-Si(111) на ІЧ відбивання плівок AlN.

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Генцарь Петро Олексійович (фізико-математичні науки)
• Вуйчик Микола В'ячеславович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"